Počet záznamů: 1  

Electrical probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for deposition of TiO.sub.x./sub. thin films

  1. 1.
    0309887 - FZÚ 2009 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
    Virostko, Petr - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Tichý, M. - Jastrabík, Lubomír
    Electrical probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for deposition of TiOx thin films.
    [Sondová diagnostika plazmového tryskového systému s efektem duté katody pro depozice tenkých vrstev TiOx.]
    Contributions to Plasma Physics. Roč. 48, 5-7 (2008), s. 527-533. ISSN 0863-1042. E-ISSN 1521-3986
    Grant CEP: GA AV ČR KAN301370701; GA AV ČR KJB100100707; GA MŠMT(CZ) 1M06002; GA AV ČR KAN400720701; GA ČR GA202/06/0776
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522; CEZ:AV0Z10100521
    Klíčová slova: hollow cathode * plasma jet * probe diagnostics * deposition of thin films
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    Impakt faktor: 1.250, rok: 2008

    Measurements of positive ion flux to a negatively biased substrate for deposition of TiOx thin films by the hollow cathode plasma jet system are presented. Different methods of obtaining the bias of substrate and measuring the resulting ion flux were used for different bias frequencies. Time-resolved Langmuir probe technique was simultaneously used to observe the basic plasma properties during the ion flux measurements.

    Jsou prezentovány výsledky měření iontového toku na substrát držený na záporném předpětí při depozici tenkých vrstev TiOx pomocí plazmového tryskového systému s efektem duté katody. Pro různé frekvence předpětí substrátu jsou implementovány a vzájemně porovnány různé metody určení iontového toku. Časově rozlišená měření pomocí Langmuirovy sondy byla zároveň použita pro měření základních parametrů plazmatu.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0161906

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.