Počet záznamů: 1  

Quantification of Detection Efficiency of the Detector of Secondary Electrons in SEM

  1. 1.
    0308571 - ÚPT 2008 RIV CZ eng B - Monografie kniha jako celek
    Konvalina, Ivo
    Quantification of Detection Efficiency of the Detector of Secondary Electrons in SEM.
    [Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.]
    Brno: Brno University of Technology, 2008. 30 s. Vědecké spisy VUT , Edice PhD Thesis, sv. 455. ISBN 978-80-214-3622-0. ISSN 1213-4198
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
    Klíčová slova: collection efficiency * ET detector * detector of secondary electrons * electrostatic field * magnetic field * simulation of trajectories
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

    Three-dimensional simulations of the trajectories of secondary electrons in the scanning electron microscope have been performed for plenty of real configurations of the specimen chamber, including all its basic components. The primary purpose was to evaluate the collection efficiency of the Everhart-Thornley detector of secondary electrons and to reveal fundamental rules for tailoring the set-ups in which efficient signal acquisition can be expected.

    3D modelování trajektorií sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu bylo realizováno pro mnoho reálných konfigurací komory vzorku, včetně všech jejích základních komponent. Prvořadým záměrem bylo vyhodnotit sběrovou účinnost Everhartova-Thornleyho detektoru sekundárních elektronů a stanovit základní pravidla pro úpravu uspořádání pro dosažení účinné signálové akvizice.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0161006

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.