0308571 - ÚPT 2008 RIV CZ eng B - Monografie kniha jako celek
Konvalina, Ivo
Quantification of Detection Efficiency of the Detector of Secondary Electrons in SEM.
[Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.]
Brno: Brno University of Technology, 2008. 30 s. Vědecké spisy VUT , Edice PhD Thesis, sv. 455. ISBN 978-80-214-3622-0. ISSN 1213-4198
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: collection efficiency * ET detector * detector of secondary electrons * electrostatic field * magnetic field * simulation of trajectories
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Three-dimensional simulations of the trajectories of secondary electrons in the scanning electron microscope have been performed for plenty of real configurations of the specimen chamber, including all its basic components. The primary purpose was to evaluate the collection efficiency of the Everhart-Thornley detector of secondary electrons and to reveal fundamental rules for tailoring the set-ups in which efficient signal acquisition can be expected.

3D modelování trajektorií sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu bylo realizováno pro mnoho reálných konfigurací komory vzorku, včetně všech jejích základních komponent. Prvořadým záměrem bylo vyhodnotit sběrovou účinnost Everhartova-Thornleyho detektoru sekundárních elektronů a stanovit základní pravidla pro úpravu uspořádání pro dosažení účinné signálové akvizice.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0161006