Počet záznamů: 1  

Quantitative 3D Image Depth Profiling SIMS: Characterization of Patterned Ion Implants in Silicon

  1. 1.
    0180278 - UFCH-W 970163 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Gillen, G. - Bright, D. - Lörinčík, Jan - Morgen, S.
    Quantitative 3D Image Depth Profiling SIMS: Characterization of Patterned Ion Implants in Silicon.
    Proceedings of the Tenth International Conference on SIMS. New York: John Wiley & Sons, 1997 - (Benninghoven, A.; Hagenhoff, B.; Werner, H.), s. 321-326
    [Proceedings of the Tenth International Conference on SIMS /10./. Münster (DE), 01.10.1995-06.10.1995]
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0076972

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.