Počet záznamů: 1  

The laser ion implantation facility (LIIF): Design & First Results

  1. 1.
    0134622 - FZU-D 20030522 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Boody, F. P. - Kempf, J. - Höpfl, R. - Hora, H. - Rohlena, Karel - Krása, Josef - Pfeifer, Miroslav - Woryna, E. - Wolowski, J. - Peřina, Vratislav
    The laser ion implantation facility (LIIF): Design & First Results.
    Proceedings on Lasers and Electro-Optics, CLEO 2000. Washington: XX, 2000, s. x-x.
    [Lasers and Electro-Optics, CLEO 2000. San Francisco (US), 07.05.2000-12.05.2000]
    Grant CEP: GA MŠMT LN00A100
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1048901; CEZ:AV0Z1010921
    Klíčová slova: laser ion implantation
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery

    The laser ion implantation facility has been designed to study the commercial feasibility of laser ion implantation using an industrial excimer laser. Design details and first results of characterizing the ion source and implanting ions will be presented.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0032518

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.