Počet záznamů: 1  

Height profile measurement by means of white-light interferometry

  1. 1.
    0134284 - FZU-D 20030180 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Pavlíček, Pavel
    Height profile measurement by means of white-light interferometry.
    Engineering Mechanics 2003. Žd'ár nad Sázavou: Institut of Theoretical and Applied Mechanics ASCR, Prague, 2003 - (Náprstek, J.; Fischer, C.), s. 1-7
    [National Conference with International Participation "Engineering Mechanics 2003". Svratka (CZ), 12.05.2003-15.05.2003]
    Grant CEP: GA MŠMT LN00A015
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010921
    Klíčová slova: white-light interferometry * height profile measurement * rough surface
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery

    White-light interferometry is an established method for the height-profile measurement of rough surface. we show the results of the heigh-profile measurement of silicon waters.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0032197

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.