Počet záznamů: 1  

Atmospheric Barrier-Torch Discharge Applied on tke Low Temperature Deposition

  1. 1.
    0134089 - FZU-D 20020378 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Churpita, A. - Chvostová, Dagmar - Soukup, Ladislav - Jastrabík, Lubomír
    Atmospheric Barrier-Torch Discharge Applied on tke Low Temperature Deposition.
    Jemná mechanika a optika. 11-12, - (2002), s. 381-386. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA AV ČR IBS1010203; GA MŠMT LN00A015
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010921
    Klíčová slova: atmospheric barrier-torch * InxOy and SnOx thin films * electrical conductivity * Langmuir probe
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery

    The barier-torch discharge was used for a low temperature deposition of InxOy and SnOx thin films at atmospheric pressure on polymer SiO2 and Si substrates as well. Valpours of Sn- and In- acetylacetonat were used as growth precursors for the deposition process of SnOx and InxOy films respectvely.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0032026

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.