Počet záznamů: 1
Influence of the additional RF discharge on the properties of carbon nitride thin films deposited by PLD
- 1.0134067 - FZU-D 20020356 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Lančok, Ján - Novotný, Michal - Bulíř, Jiří - Jelínek, Miroslav - Zelinger, Zdeněk
Influence of the additional RF discharge on the properties of carbon nitride thin films deposited by PLD.
0-8194-4528-2. In: Advanced Laser Technologies. Bellingham: SPIE International Society for Optical Engineering, 2002 - (Dimitras, D.; Dinescu, M.; Konov, V.), s. 118-124. Proceedings of SPIE., 4762. ISSN 0277-786X.
[ALT'01 International Conference on Advanced Laser Technologies. Constanta (RO), 11.09.2001-14.09.2001]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: carbon nitride thin films * PLD * RF discharge
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Nitrogen-rich carbon nitride films were prepared by pulsed laser deposition combined with additional r.f. and hollow cathode discharge on fused silica, stainless steel and silicon substrates.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0032004
Počet záznamů: 1