Počet záznamů: 1
CN.sub.x./sub. films and sensors
- 1.0133329 - FZU-D 20010124 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
Bulíř, Jiří - Jelínek, Miroslav - Lančok, Ján - Zambov, L. M. - Popov, C. - Plass, M. F. - Bock, A. - Masseli, K. - Kulisch, W.
CNx films and sensors.
Jemná mechanika a optika. Roč. 45, 11-12 (2000), s. 334-335. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA MŠMT LN00A015
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: carbon nitride films * deposition process * r.f. discharge
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
We observed that the level of the additional ion bombardment could significiantly influence the film (CNx) porosity.An ability of those films for usage for humidity sensors has been proved.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0031304
Počet záznamů: 1