Počet záznamů: 1  

Capacitance humidity sensor with carbon nitride detecting element

  1. 1.
    0133327 - FZU-D 20010122 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
    Zambov, L. M. - Popov, C. - Plass, M. F. - Bock, A. - Jelínek, Miroslav - Lančok, Ján - Masseli, K. - Kulisch, W.
    Capacitance humidity sensor with carbon nitride detecting element.
    Applied Physics A - Materials Science & Processing. Roč. 70, - (2000), s. 603-606. ISSN 0947-8396. E-ISSN 1432-0630
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Klíčová slova: carbon nitride films * humidity sensor * pulsed laser deposition * inductively coupled plasma chemical vapour deposition
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 1.613, rok: 2000

    The humidity sensitive properties of carbon nitride (CNx) films deposited by two methods, inductively coupled chemical vapour deposition utilizing transport reactions and pulsed laser depostion combined with an rf discharge, have been investigated.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0000614

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.