Počet záznamů: 1  

Low pressure radio frequency and microwave dischanges for d.c. sputtering of ferromagnetic materials

  1. 1.
    0133285 - FZU-D 20010079 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
    Musil, Jindřich - Mišina, Martin
    Low pressure radio frequency and microwave dischanges for d.c. sputtering of ferromagnetic materials.
    Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 50, č. 6 (2000), s. 785-794. ISSN 0011-4626
    Grant CEP: GA ČR GV106/96/K245
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 0.298, rok: 2000

    This paper discribes a d.c. diode sputtering system in which the sputtering discharge is sustained by an r.f. or microwave plasma excited with a helix coil surrounded vy eight SmCo nagnets.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0000609

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.