Počet záznamů: 1  

Energy and mass spectroscopy studies during triode ion plating of TiN films in two different layouts

  1. 1.
    0132840 - FZU-D 20000094 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
    Maček, M. - Navinšek, B. - Panjan, P. - Kadlec, Stanislav - Wouters, S. - Quaeyhaegens, C. - Statls, L. M.
    Energy and mass spectroscopy studies during triode ion plating of TiN films in two different layouts.
    Surface and Coatings Technology. Roč. 113, - (1999), s. 149-156. ISSN 0257-8972
    Grant CEP: GA ČR GV106/96/K245
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 1.008, rok: 1999

    Plasma properties are compared in two triode ion-plating systems using a low-voltage arc discharge. The systems differ in the configuration of the chamber and magnetic field.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0030837

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.