Počet záznamů: 1  

Plasma diagnosticof triode ion plating systems by energy-resolved mass spectroscopy and comparison of TiN film properties

  1. 1.
    0132838 - FZU-D 20000092 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
    Kadlec, Stanislav - Maček, M. - Wouters, S. - Meert, B. - Navinšek, B. - Panjan, P. - Quaeyhaegens, C. - Stals, L. M.
    Plasma diagnosticof triode ion plating systems by energy-resolved mass spectroscopy and comparison of TiN film properties.
    Surface and Coatings Technology. 116-119, - (1999), s. 1211-1218. ISSN 0257-8972
    Grant CEP: GA ČR GV106/96/K245; GA AV ČR KSK1043601
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 1.008, rok: 1999

    Plasma properties related to TiN deposition are compared in two triode ion-plating systems using a low-voltage arc discharge.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0030835

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.