0132838 - FZU-D 20000092 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Kadlec, Stanislav - Maček, M. - Wouters, S. - Meert, B. - Navinšek, B. - Panjan, P. - Quaeyhaegens, C. - Stals, L. M.
Plasma diagnosticof triode ion plating systems by energy-resolved mass spectroscopy and comparison of TiN film properties.
Surface and Coatings Technology. 116-119, - (1999), s. 1211-1218. ISSN 0257-8972. E-ISSN 1879-3347
Grant CEP: GA ČR GV106/96/K245; GA AV ČR KSK1043601
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Impakt faktor: 1.008, rok: 1999

Plasma properties related to TiN deposition are compared in two triode ion-plating systems using a low-voltage arc discharge.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0030835