Počet záznamů: 1  

Study of plasma in hybrid PLD system for CN.sub.x./sub. films creation

  1. 1.
    0104234 - FZU-D 20040576 RIV CZ eng K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
    Novotný, Michal - Jelínek, Miroslav - Bulíř, Jiří - Lančok, Ján - Zelinger, Zdeněk
    Study of plasma in hybrid PLD system for CNx films creation.
    [Studium plasmy v hybridním PLD systému pro přípravu CNx vrstev.]
    Optické komunikace. Praha: TechMarket, Praha, 2002, s. 124-125.
    [Workshop O.K. 2002. Praha (CZ), 01.10.2002-05.10.2002]
    Grant CEP: GA AV ČR IAA1010110
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Klíčová slova: CN x films * hybrid PLD system
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

    We have developed hybrid PLD systems (combination of PLD and additional radiofrquency discharges) for increasing active nitrogen concentration in plasma and consequently N/C ratio in deposited films. For study of plasma and plasma processes we have used OES

    Byl vyvinut nový hybridní PLD systém (kombinace PLD s přídavným radiofrekvenčným výbojem) pro zvýšení koncentrace aktivního dusíku v plasmě a následně poměru N:C v připravených vrstvách. Pro studium plasmy a procesů v ní byla použita metoda OES

    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0011509

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.