Počet záznamů: 1  

Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates

  1. 1.
    0100165 - FZU-D 20040145 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Čada, Martin - Churpita, Olexandr - Hubička, Zdeněk - Šíchová, Hana - Jastrabík, Lubomír
    Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates.
    [Studium nízkoteplotního atmosférického zdroje plazmatu pro depozici TCO tenkých vrstev na polymerní substráty.]
    Surface and Coatings Technology. 177-178, - (2004), s. 699-704. ISSN 0257-8972
    Grant CEP: GA AV ČR IBS1010203
    Klíčová slova: atmospheric deposition * TCO thin films * emission spectroscopy
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 1.432, rok: 2004

    Atmospheric barrier-torch discharge was used for low temperature deposition of thin conductive oxide thin films on polymer substrates. An atmospheric high-density plasma jet was excited at the outlet of the quartz nozzle with an external metallic ring electrode. InxOy and SnOx transparent and conductive films were deposited on polymer, quartz and silicon substrates by this technique

    Atmosférický bariérový-pochodňový výboj byl použit pro nízkoteplotní depozici tenkých a vodivých oxidových vrstev na polymerní substráty. Plazmatický kanál s vysokou koncentrací nabitých částic byl vybuzen na výstupu křemenné trysky obalené kovovou elektrodou. Průhledné a vodivé tenké vrstvy InxOy a SnOx byly připraveny na polymerní, křemenné a křemíkové substráty pomocí této technologie
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0007670

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.