Počet záznamů: 1  

Economical helium bath cryopump: design and testing

  1. 1.
    0100010 - UPT-D 20040010 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
    Musilová, Věra - Dupák, Jan - Hanzelka, Pavel - Králík, Tomáš - Urban, Pavel
    Economical helium bath cryopump: design and testing.
    [Malá lázňová kryovývěva plněná kalným héliem.]
    Vacuum. Roč. 74, č. 1 (2004), s. 77-83. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715
    Grant CEP: GA ČR GA101/00/0028
    Klíčová slova: cryopump * radiative heat transfer * Monte Carlo particle tracing
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Impakt faktor: 0.902, rok: 2004

    A small UHV helium bath cryopump with low cryoliquid consumption has been designed, manufactured and tested. The cryopump is designed to keep UHV in electron optical devices without generation of disturbing electromagnetic fields or vibrations. The outer volume of its shell is 15l, the filling volumes of liquid helium (LHe) and liquid nitrogen (LN2) are 3.0 l and 3.4 l, respectively. Operating times between cryoliquid fillings are 35 days for LHe and 6 days for LN2. A pump speed of 25l/s was measured for the He gas. A lowest pressure of 1.5e-7 Pa was achieved in a test chamber and the pumping tests indicated that an even lower pressure would be achieved in a well-degassed chamber. Good agreement between the calculated and measured values both of the pump speed and the cryoliquid evaporation has been found. The system of chevron-type baffles was designed and checked by Monte Carlo simulations of molecular flow and radiative heat transfer

    Byla navržena, realizována a testována malá lázňová kryovývěva plněná kapalným héliem. Vývěva byla navržena pro udržování ultravysokého vakua v elektronově optických přístrojích aniž by byly vývěvou generovány vibrace a elektromagnetické pole, které by rušily experiment. Vnější objem vývěvy je 15 litrů, plnící objemy pro kapalné hélium a kapalný dusík jsou 3 litry a 3,4 litru. Provozní doba bez doplňování kryokapalin je 35 dnů pro kapalné He a 6 dnů pro kapalný dusík. Nejnižší dosažený tlak pomocí této vývěvy činil 1,5e-7 a z prováděných testů lze usuzovat, že při dokonalejším odplynění testovací komory by bylo možné dosáhnout nižšího tlaku. Při čerpání hélia byla naměřena čerpací rychlost 25 litrů/s.Vypočtené hodnoty čerpací rychlosti a provozní doby bez doplňování kryokapalin dobře souhlasily s výsledky naměřenými na realizované vývěvě. Systém radiačních přepážek na vstupu do vývěvy byl navržen a testován pomocí simulací molekulárního proudění metodou Monte Carlo
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0007517

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.