Carbon Nanotubes Synthesized by Plasma Enhanced CVD: Preparation for Measurement of Their Electrical Properties

0053324 - ÚPT 2007 CZ eng A - Abstrakt
Ficek, R. - Kučerová, Z. - Zajíčková, L. - Vrba, R. - Eliáš, M. - Jašek, O. - Matějka, František - Matějková, Jiřina - Klapetek, P.
Carbon Nanotubes Synthesized by Plasma Enhanced CVD: Preparation for Measurement of Their Electrical Properties.
[Uhlíkové nanotrubice připravované plasmaticky buzeným procesem CVD: příprava pro měření jejich elektrických vlastností.]
22nd Symposium on Plasma Physics and Technology, Programme and Abstracts. Praha: ČVUT Praha, 2006. s. 84-85. ISBN 80-01-03506-9.
[Plasma Physics and Technology /22./. 26.06.2006-29.06.2006, Praha]
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA202/05/0607
Klíčová slova: PECVD * carbon nanotubes
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Carbon nanotubes were synthetized by plasma enhanced CVD in the mixture of argon, methane and hydrogene on the silicon substrate with SiO2 overlayer and a thin top iron film serving as a catalyst. The chip for the measurement of electrical conductivity was prepared on polished silicon wafer using several deposition techniques and electron beam lithography. Scanning electron microscopy (SEM) was used for studies of deposited nanotubes. For the electrical measurement the nanotubes are supposed to be separated in colloidal solution that wil be dropped on the measurement electrodes.

Uhlíkové nanotrubice byly připraveny plasmaticky buzeným procesem CVD ve směsi argonu, methanu a vodíku na křemíkových podložkách s vrstvou SiO2 a vrchní tenkou vrstvou železa, která působila jako katalyzátor. Čip pro měření elektrické vodivosti nanotrubic byl připraven na leštěných křemíkových podložkách pomocí elektronové litografie. Rastrovací elektronová mikroskopie (SEM) sloužila ke studiu deponovaných nanotrubic. Pro elektrická měření se předpokládá separace nanotrubic do koloidního roztoku, který bude nanášen mezi měřicí elektrody.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0141631