- Patterning of hydrogenated microcrystalline silicon growth by magneti…
Počet záznamů: 1  

Patterning of hydrogenated microcrystalline silicon growth by magnetic field

  1. 1.
    0028414 - FZÚ 2006 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
    Fejfar, Antonín - Stuchlík, Jiří - Mates, Tomáš - Ledinský, Martin - Honda, Shinya - Kočka, Jan
    Patterning of hydrogenated microcrystalline silicon growth by magnetic field.
    [Plošné formování růstu mikrokrystalického křemíku pomocí magnetického pole.]
    Applied Physics Letters. Roč. 87, č. 1 (2005), 011901/1-011901/3. ISSN 0003-6951. E-ISSN 1077-3118
    Grant CEP: GA AV ČR(CZ) IAA1010316; GA AV ČR(CZ) IAA1010413; GA ČR(CZ) GD202/05/H003
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
    Klíčová slova: hydrogenated microcrystalline silicon * magnetic field growth
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 4.127, rok: 2005

    Permanent magnet(s) placed under the substrate influenced the discharge in a mixture of silane and hydrogen and led to formation of microcrystalline regions in otherwise amorphous film

    Trvalé magnety umístěné pod substrátem ovlivnily výboj ve směsi silanu a vodíku a vedly ke vzniku mikrokrystalických oblastí v jinak amorfní vrystvě
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0118356
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.