Počet záznamů: 1
Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD
- 1.0025674 - FZÚ 2006 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Popov, C. - Jelínek, Miroslav - Boycheva, S. - Vorlíček, Vladimír - Kulisch, W.
Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD.
[Vliv složení plynné fáze na nanokrystalické diamantové vrystvy připravené MWCVD.]
Journal of Metastable and Nanocrystalline Materials. Roč. 23, - (2005), s. 31-34. ISSN 1422-6375
Grant CEP: GA AV ČR(CZ) IAA1010110
Grant ostatní: European Community Marie Curie Fellowship(XE) HPMF-CT-2002-01713
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: microwave plasma CVD * nanocrystalline diamond films * characterization
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Nanocrystalline diamond (NCD) films have been prepared by microwave plasma chemical vapor deposition (MWCVD) from methane/nitrogen mixtures, and the influence of the gas phase composition on the basic properties of the films (composition, morphology, topography, crystallinity and bonding structure) was investigated
Vrstvy nanikrystalického diamantu byly připraveny depozicí s plynné fáze za pomoci mikrovlnné plazmy ze směsi metanu a dusíku. Byl studován vliv složení plynné fáze na základní vlastnosti vrstev složení, morfologii, topografii, krystaličnost a strukturu vazeb)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0116045
Počet záznamů: 1