Modulation transfer function and detective quantum efficiency of electron bombarded charge coupled device detector for low energy electrons

0022381 - ÚPT 2006 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Horáček, Miroslav
Modulation transfer function and detective quantum efficiency of electron bombarded charge coupled device detector for low energy electrons.
[Modulační přenosová funkce a detekční kvantová účinnost elektrony bombardovaného CCD detektoru elektronů s nízkou energií.]
Review of Scientific Instruments. Roč. 76, č. 9 (2005), 093704:1-6. ISSN 0034-6748. E-ISSN 1089-7623
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA202/03/1575
Klíčová slova: electron bombarded CCD * modulation transfer function * detective quantum efficiency
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Impakt faktor: 1.235, rok: 2005

The use of a thinned back side illuminated charge coupled device chip as two-dimensional sensor working in direct electron bombarded mode at optimum energy of the incident signal electrons is demonstrated and the measurements of the modulation transfer function (MTF) and detective quantum efficiency (DQE) is described. The MTF was measured for energy of electrons 4 keV using an edge projection method and a stripe projection method. The decrease of the MTF for a maximum spatial frequency of 20.8 cycles/mm is 0.75 - 2.5 dB, and it is approximately the same for both horizontal and vertical directions. DQE was measured using an empty image and the mixing factor method. Empty images were acquired for energies of electrons from 2 to 5 keV and for various doses, ranging from nearly dark image to a nearly saturated one. DQE increases with increasing energy of bombarded electrons and reaches 0.92 for electron energy of 5 keV.

Je demonstrováno použití ztenčeného zpětně osvětlovaného CCD čipu jako dvourozměrného detektoru pracujícího v režimu přímého bombardování elektrony při optimální energii signálních elektronů. Je popsáno měření modulační přenosové funkce (MTF) a detekční kvantové účinnosti (DQE). MTF byla měřena pro energii elektronů 4 keV metodou projekce hrany a metodou projekce pruhů. Pokles MTF pro maximální prostorovou frekvenci 20,8 pruhů/mm je 0,75 - 2,5 dB a je přibližně stejný v horizontálním i vertikálním směru. DQE byla měřena metodou prázdného (nemodulovaného) obrazu a mixing faktoru. Obrazy byly sejmuty pro energie elektronů od 2 do 5 keV. DQE roste s rostoucí energií bombardujících elektronů a dosahuje 0,92 pro energii 5 keV.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0111122