Počet záznamů: 1
Dusíkom dopované diamantové vrstvy
- 1.
SYSNO ASEP 0502326 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Dusíkom dopované diamantové vrstvy Překlad názvu Nitrogen-doped diamond layers Tvůrce(i) Michniak, P. (SK)
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Conference proceedings of the 20th School of Vacuum Technology - Nanoelectronics and Vacuum. - Bratislava : Slovenská vákuová spoločnosť, 2018 / Michalka M. ; Vincze A. - ISBN 978-80-99905-00-0 Rozsah stran s. 94-97 Poč.str. 4 s. Forma vydání Online - E Akce School of Vacuum Technology - Nanoelectronics and Vacuum /20./ Datum konání 23.10.2018 - 26.10.2018 Místo konání Štrbské Pleso Země SK - Slovensko Typ akce EUR Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. SK - Slovensko Klíč. slova doped diamond ; chemical vapor deposition ; Raman spectroscopy ; Hall measurements Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.) CEP NV15-33018A GA MZd - Ministerstvo zdravotnictví Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace Dusíkom dopované diamantové vrstvy boli pripravené metódou MW CVD pri rôznych pomeroch CH4/N2/H2. Na určenie ich základných vlastností boli použité metódy SEM, optická interferenciometria, Ramanova spektroskopia a Hallove merania. Rast mikrokryštalickej diamantovej vrstvy prebehol iba pri vrstvách bez dopácie N2, a teda dopácia N2 spôsobí zmenu mikrokryštalickej diamantovej vrstvy na nanokryštalickú diamantovú vrstvu, čo potvrdila aj Ramanova spektroskopia. Analyzovaná el. vodivosť NDD vrstiev pravdepodobne nesúvisí s dopáciou N2. Překlad anotace In this contribution analysis of nitrogen doped diamond (NDD) prepared by Microwave Chemical Vapor Deposition on SiO2/Si structure is described. Three series of NDD samples were grown in different CH4/H2 gas flow (2, 5, and 8%). Nitrogen present in growth chamber caused a nitrogen dopation. In this contribution samples with different N2 ratio for each series of CH4/H2 composition were prepared. Prepared samples were analysed by SEM, optical interferometry, Raman spectroscopy (λ=325) and Hall measurement. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2019
Počet záznamů: 1