Počet záznamů: 1

Improved contactless method of IR reflectance under grazing incidence for measurement of doping profiles

SYSNO ASEP	0501967
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Improved contactless method of IR reflectance under grazing incidence for measurement of doping profiles
Tvůrce(i)	Holovský, Jakub (FZU-D)_{RID, ORCID} Remeš, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID} Franta, D. (CZ) Conrad, B. (CZ) Abelová, Lucie (FZU-D) Bušek, D. (CZ) Poruba, Aleš (FZU-D)_RID
Celkový počet autorů	7
Zdroj.dok.	Proceedings of 35th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition. - Brusel : WIP, 2018 - ISBN 3-936338-50-7
Rozsah stran	s. 278-280
Poč.str.	3 s.
Forma vydání	Online - E
Akce	European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition /35./
Datum konání	24.09.2018 - 28.09.2018
Místo konání	Brusel
Země	BE - Belgie
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	BE - Belgie
Klíč. slova	diffusion ; characterisation ; free-carrier absorption ; in-Line ; IR spectroscopy
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Obor OECD	Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
CEP	GA18-24268S GA ČR - Grantová agentura ČR
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
DOI	10.4229/35thEUPVSEC20182018-2AO.5.3
Anotace	We have elaborated contactless method of measurement and evaluation of doping profiles in silicon polished wafers based on infrared reflectance under high angle of incidence. We have found higher angle of incidence increases sensitivity, however approaching Brewster angle increases also experimental error, therefore 65 angle has been chosen. Moreover, to increase reproducibility we divide the measured spectra by reference spectra taken on an undoped sample, and further we rescale the spectra to fixed value in the region of 4000 cm-1–7000 cm-1. To reduce number of evaluated parameter, the carrier profile in boron-doped samples was parametrized by 3 parameters and that in phosphorous-doped samples was parametrized by 4 parameters, using additional empirically determined assumption that the first part of the profile is a constant plateau and that the following two exponential tails are joined at a value of 3x10^19 cm-3.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2019

Počet záznamů: 1