Počet záznamů: 1

Controlled structuring of self-assembled polystyrene microsphere arrays by two different plasma systems

SYSNO ASEP	0486284
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Controlled structuring of self-assembled polystyrene microsphere arrays by two different plasma systems
Tvůrce(i)	Domonkos, Mária (FZU-D)_RID Ižák, Tibor (FZU-D)_RID Stolcova, L. (CZ) Proška, J. (CZ) Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	5
Zdroj.dok.	NANOCON 2013 - 5th International Conference Proceedings. - Ostrava : TANGER Ltd, 2014 - ISBN 978-80-87294-47-5
Rozsah stran	s. 34-38
Poč.str.	5 s.
Forma vydání	Online - E
Akce	5th International Conference Nanocon 2013
Datum konání	16.10.2013 - 18.10.2013
Místo konání	Brno
Země	CZ - Česká republika
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	nanosphere lithography ; reactive ion etching ; pulsed linear-antenna microwave plasma ; polystyrene microspheres ; Langmuir-Blodgett monolayers
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Obor OECD	Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
CEP	GAP108/12/0910 GA ČR - Grantová agentura ČR
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
UT WOS	000352070900004
EID SCOPUS	84929428386
Anotace	In this study we present a successful manipulation of microspheres by reactive ion etching (RIE). A self-assembled monolayer close-packed array of monodisperse polystyrene microspheres (PM) with diameter of 471 nm was used as the primary template. The PM templates were processed in two different RIE systems: (i) capacitively coupled radiofrequency plasma (CCP) and (ii) dual plasma system which combines CCP and pulsed linear-antenna microwave plasma (PLAMWP). The influence of process conditions on the PM geometry was systematically studied by scanning electron microscopy (SEM). It was found out that choosing optimal parameters results in a tunable diameter of PM with various shapes (from spheres to pyramid-like structures) while keeping their periodic hexagonal ordering.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2019

Počet záznamů: 1