Počet záznamů: 1
Plasma treatment and annealing of ZnO thin films
- 1.
SYSNO ASEP 0477992 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Plasma treatment and annealing of ZnO thin films Tvůrce(i) Chang, Yu-Ying (FZU-D)
Remeš, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCIDZdroj.dok. Extended Abstract Book of 9th Conference Solid State Surfaces and Interfaces. - Bratislava : Comenius University, 2016 / Brunner R. - ISBN 978-80-223-4203-2 Rozsah stran s. 68-69 Poč.str. 2 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Conference Solid State Surfaces and Interfaces /9./ (SSSI 2016) Datum konání 21.11.2016 - 24.11.2016 Místo konání Piestany Země SK - Slovensko Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. SK - Slovensko Klíč. slova ZnO ; reactive magnetron sputtering ; hydrogen plasma treatment Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.) CEP GC16-10429J GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace The modification of the electrical and optical properties of ZnO by annealing and plasma treatment has been investigated extensively. After hydrogen plasma treatment, the increase of the infrared optical absorption, related to free carrier concentration, is detected below the optical absorption edge. The increase of the optical absorption correlates with the increase of the electrical conductivity related to the increase of the free carrier concentration. On the other hand, after oxidation and thermal annealing in air, the optical absorption is significantly reduced in the infrared region and the electrical resistivity increases.
Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2018
Počet záznamů: 1